어플라이드머티리얼즈, OLED 제조를 위한 PECVD 출시

반도체, 평판 디스플레이 및 태양전지 장비 글로벌 업체인 어플라이드머티리얼즈는 고성능 모바일 디스플레이 제조를 위한 플라즈마화학증착기(PECVD) ‘AKT-20K PX PECVD’를 출시한다고 7일 밝혔다.

이번에 출시된 장비는 전 세계적으로 판매량이 급증하고 있는 스마트폰 및 스마트패드 등의 고성능 OLED(유기발광다이오드) 및 TFT- LCD(박막트랜지스터 액정표시장치) 디스플레이 제조 장비이다.

이 장비는 기존의 3배에 달하는 1.95m² 사이즈 유리기판에 균일도가 높은 필름의 증착을 가능하게 하는 ‘저온 폴리실리콘(LTPS)’ 방식을 도입하여 보다 우수한 해상도의 디스플레이를 제공하며, 기판의 크기 증가 및 공정속도의 향상으로 생산량을 증가시킬 수 있다는 것이 특징이다.

어플라이드머티리얼즈의 디스플레이 부문 총괄 책임자인 톰 에드먼(Tom Edman)은 “어플라이드머티리얼즈는 지난 20년간 증착 기술 분야의 선두 업체로서, 급증하는 OLED 디스플레이의 수요를 충족시키기 위해 힘써 왔다.”라며, “이번에 출시된 장비는 자사의 저온 폴리실리콘 기술을 최신 멀티챔버(Multi chamber) 플랫폼에 효율적으로 활용한 것으로, 디스플레이 제조업체에 성능 및 생산성의 향상을 제공하게 될 것”이라고 말했다.

글 / IT동아 김영우(pengo@itdonga.com)